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内容简介:
本书主要介绍了洗净主体材料的基本性能,厂房净化技术及原理,高纯气体制备,超纯试剂的纯化等内容;还着重论述了现有常用洗净方法和技术,详述了一些典型洗净范例,尤其是电子行业的清洗。同时,也介绍了新型的清洗技术和方法。通过学习本书可以为掌握现有的洗净技术和原理,并进一步优化和创新新方法、新技术奠定良好的基础。
本书编写过程中参考了大量国内外洗净技术专业资料,着重基本概念的阐述,同时反映近年来洗净技术领域的新技术、新成果。可作为高等院校相关专业教材,也可作为教师、研究生的专业参考书,还可供企业及科研单位的专业技术人员参考。
书籍目录:
部分 洗净主体材料的基本性能
章 晶体材料与非晶体材料基本性能
节 晶体材料结构与性能
第二节 非晶体材料特性
第三节 有机固体材料基本性能
第四节 液晶材料结构与性能
第五节 固体材料的表面与界面
第二章 金属材料基本性能
节 钢铁材料基本性能
第二节 铜及铜合金材料基本性能
第三节 其他合金材料基本性能
第三章 半导体硅与化合物的基本性能
节 硅材料化学性能
第二节 硅材料物理性质
第三节 硅的化合物
第四章 常用非金属材料
节 非金属材料特性
第二节 有机非金属材料分 类与特性
第三节 常用无机非金属材料
第四节 复合材料
第五章 有机试剂基本性能
节 醇类的基本性能
第二节 苯酚、醛、羧酸基本特性
第三节 羧酸衍生物——羧酸酯基本特性
第四节 糖类及蛋白质
第六章 常用无机试剂基本性能
节 常用酸的基本性能
第二节 常用碱的基本性能
第三节 清洗常用的氧化剂
第四节 金属离子螯合剂
第二部分 清洗的环境净化
第七章 环境洁净技术原理
节 厂房的洁净技术基础
第二节 高纯气体制备机理
第三节 超净高纯试剂纯化机理
第八章 洗净工程中净化水的制备机理
节 天然水中的杂质
第二节 超纯水
第三节 离子交换树脂
第四节 电渗析法制备纯水的原理
第五节 反渗透法制备纯水的原理
第六节 反渗透膜的技术现状
第七节 反渗透膜的污染与清洗
第八节 反渗透膜生物污染与防治
第九章 在清洗技术中替代破坏臭氧层物质
节 概述
第二节 氯氟烷烃溶剂对臭氧层的破坏机理
第十章 有机高分 子化合物的生物降解
节 有机高分 子结构与降解
第二节 有机高分 子材料降解理论
第三节 污染物可生物降解性
第四节 生物对污染的适应与进化
第五节 污染物生物降解的营养动力学
第三部分 清洗方法与技术
第十一章 集成电路制备过程中的清洗
节 概述
第二节 清洗的基本理论及方法
第三节 颗粒吸附状态分 析及优先吸附模型
第四节 硅片清洗的常用方法与技术
第五节 清洗设备基本结构
第六节 溶液清洗技术的研究现状
第七节 兆声清洗
第十二章 油污的去除方法
节 有机溶剂除油
第二节 化学除油
第三节 电化学除油
第四节 其他除油技术
第五节 清洗工程中浸蚀作用机理
第十三章 工业清洗的一般方法
节 不锈钢和耐热钢的浸蚀
第二节 其他金属浸蚀
第三节 玻璃及其仪器的清洗
第四节 机械部件的清洗
第五节 印刷电子线路板的清洗
第六节 锅炉和管道等设备的清洗
第七节 大型运输工具的清洗
第八节 替代ODS清洗技术
第九节 洗净新兴技术
附录 通用水基金属净洗剂质量标准及试验方法
参考文献
作者介绍:
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其它内容:
前言
前言
洗净科学与技术涉及物理、化学、化学物理、物理化学、机械工程、电子工程、生物工程、环境工程、材料科学等多学科的知识与理论,是一门知识密集与技术密集的新学科。
随着人类历史的发展,文明的进步,洗净技术也飞速发展。由人自身洁净清洗、家庭清洗到
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书籍真实打分
故事情节:5分
人物塑造:7分
主题深度:5分
文字风格:3分
语言运用:7分
文笔流畅:6分
思想传递:9分
知识深度:5分
知识广度:3分
实用性:9分
章节划分:6分
结构布局:4分
新颖与独特:4分
情感共鸣:4分
引人入胜:5分
现实相关:5分
沉浸感:4分
事实准确性:9分
文化贡献:3分